Specifikacije
Krožna tarča iz titana je ravna tarča v obliki-diska, narejena iz titana, ki se običajno uporablja v aplikacijah, kot so razprševanje, premazi ali postopki nanašanja materiala. Krožna oblika zagotavlja enakomerno porazdelitev materiala pri uporabi v postopkih, kot sta nanašanje tank-plastov ali ionska implantacija.
Titanova krožna tarča je izvorni material iz titana visoke-oblike -diska, zasnovan za uporabo v sistemih fizičnega naparjevanja (PVD), zlasti v postopkih magnetronskega razprševanja. Njegova krožna geometrija omogoča vgradnjo v standardne ravninske razpršilne katode, kjer je obstreljen z ioni, da izpodrine atome titana, ki se nato odložijo kot tanek film na substrate.
1.Material:
Običajno izdelani iz -titana (Ti) ali titanovih zlitin, kot je Ti-6Al-4V, ki nudijo odlično trdnost, nizko gostoto in visoko odpornost proti koroziji.
Čistost se lahko razlikuje glede na specifično uporabo, pri čemer se za visoke-zahteve glede zmogljivosti pogosto uporablja 99,9-odstotno čisti titan.
2. Oblika:
Okrogla: ploščat, okrogel disk z enakim premerom.
Premer: Običajne velikosti so od 50 mm do 300 mm (2 do 12 palcev) ali več, odvisno od potreb uporabe.
Debelina: Debelina diska je običajno od 2 mm do 10 mm, čeprav se lahko razlikuje glede na zahteve sistema za brizganje ali nanašanje.
3. Površinska obdelava:
Površino je mogoče polirati ali nahrapaviti, odvisno od želenega rezultata postopka brizganja ali nanašanja.
Gladka površina je običajno prednostna za enakomerno nanašanje, medtem ko se hrapava površina lahko uporablja za posebne učinke premaza.
4. Lastnosti:
Visoka korozijska odpornost na agresivne kemikalije, zlasti v industriji, kot sta vesoljska ali pomorska uporaba.
Visoko tališče (okoli 1668 stopinj ali 3034 stopinj F), zaradi česar je idealen za visoko-temperaturne procese.
Lahek in močan, zaradi česar je idealen za tank{0}}nanašanje, kjer je potrebna visoka stopnja natančnosti.
5.Čistost
Tarče iz titana visoke-čistosti (čistost večja od 99,9 %) se pogosto uporabljajo v postopkih naprševanja za nanašanje tankih filmov na podlage v proizvodnji polprevodnikov, optiki in drugih preciznih industrijah.
Tarče iz titana nižje čistosti se lahko uporabljajo v drugih postopkih, kot je nanašanje obloka ali za splošne namene premazov v različnih industrijskih aplikacijah.
Aplikacija
Polprevodniki in mikroelektronika:
Difuzijske pregrade in adhezijski sloji v povezovalnih strukturah čipov
Elektrode v pomnilniških napravah in senzorjih
Metalizacija vrat v tranzistorjih
Optični in fotovoltaični premazi:
Pro-odbojni in zaščitni premazi na lečah
Transparentne prevodne oksidne plasti (TCO) v tanko{0}}slojnih sončnih celicah
Dekorativni in funkcionalni premazi na očalih in lečah fotoaparatov
Raziskave in razvoj:
Najpogostejša oblika laboratorijskih-sistemov zaradi standardizacije
Uporablja se v univerzitetnih in industrijskih laboratorijih za raziskave znanosti o materialih
Izdelava prototipov novih tank{0}}naprav in premazov
Premazi za medicinske pripomočke:
Biokompatibilni premazi na vsadkih in kirurškem orodju
Osnovni sloj za hidroksiapatitne prevleke na ortopedskih vsadkih
Dekorativni in funkcionalni premazi:
Osnovni material za titanov nitrid (TiN) in druge barvne PVD prevleke
Premazi-odporni proti obrabi na rezalnih orodjih, kalupih in natančnih komponentah
Priljubljena oznake: krožna tarča iz titana, proizvajalci, dobavitelji, tovarna titanove krožne tarče

